簡(jiǎn)述pH傳感器的應(yīng)用與制作方法
pH傳感器是一種常用的傳感器，廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)學(xué)、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域。它可以測(cè)量溶液中的酸堿度，是許多實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)過(guò)程不可或缺的工具。它的工作原理是基于化學(xué)反應(yīng)與電流的關(guān)系。常見(jiàn)的pH傳感器原理有玻璃電極和ISFET電極兩種。玻璃電極通過(guò)玻璃膜和內(nèi)部溶液之間的離子交換，測(cè)得溶液的酸堿度；ISFET電極則是利用固體電解質(zhì)與溶液之間的電流變化來(lái)測(cè)量酸堿度。
制作方法：
1.玻璃電極的制作：
(1)準(zhǔn)備玻璃管和電極內(nèi)部溶液，將玻璃管封口，將一段銀絲插入其中作為內(nèi)置的參比電極。
(2)將玻璃膜剝離開制成薄片，用Na2SiO3溶液進(jìn)行清洗。然后用HCl溶液進(jìn)行激活處理，并用KCl進(jìn)行填充。
(3)將玻璃管與電極內(nèi)部溶液連接，通過(guò)熔接進(jìn)行封尾，并進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)。
2.ISFET電極的制作：
(1)選擇合適的半導(dǎo)體材料，如硅或碳化硅，制作出電晶體。
(2)在電晶體表面沉積一層絕緣層，通常使用SiO2。
(3)利用光刻技術(shù)制作出半導(dǎo)體微陷阱和通道區(qū)域。
(4)制作金屬柵極，通常使用鋁或金屬合金。
(5)連接電極外部引線，進(jìn)行封裝保護(hù)，并進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)。
通過(guò)上述制作方法，可以制得滿足不同需求的pH傳感器。
